Sievers分析仪如何应用于微电子行业？

微电子制造商在生产中会遇到各种有机污染物，并经历各种挑战，包括：

Sievers M9e和M500e TOC分析仪

Sievers CheckPointe TOC传感器

Sievers InnovOx TOC分析仪

Sievers M9e在线和便携式TOC分析仪专为最复杂的水系统和应用而设计。该分析仪的分析范围为0.03 ppb至50 ppm，使用膜电导率技术，精确检测系统给水、反渗透产水和最终产水中的TOC浓度。使用可选配的Turbo模式，仅需4秒分析时间，Sievers M9e分析仪是适合于回用水检测的理想故障排查工具。

Sievers M500e和上一代500 RLe TOC分析仪设计用于低浓度TOC检测。这两款分析仪的操作范围为0.03 ppb至2.5 ppm，是目前市场上无试剂、在线超纯水TOC分析仪的最低检测限。

2020年，Sievers推出了500 RLe的下一代产品Sievers M500e分析仪，改进包括：

• 冲洗时间缩短50%，在现场低浓度校准（250 ppb）或年度维护后，该仪器可更快投入生产，回到工作状态

• 10英寸触摸屏，可实现更快、更直观的设置和操作

• 数字化升级，如远程访问、WiFi功能，改进了数据传输和管理选项，以及逐步的向导

• 改进了电导率范围（0.01-800 µS/cm），同时也可以显示为电阻率

• 使用异丙醇（IPA）的100 ppb确认协议

• 自适应自动调零，可根据先前的结果自动预测频率

另一款微电子应用的基本仪器是Sievers超纯水硼分析仪。Sievers硼分析仪可预测混床耗尽，优化EDI性能，并控制抛光回路的硼浓度。在释放二氧化硅之前，Sievers硼分析仪可检测到硼浓度升高，从而有助于防止二氧化硅泄漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著减少运营费用，并保持超纯水系统的质量。

具有0.05到1000 ppb的分析范围，Sievers CheckPointe是适用于解决问题和诊断的理想仪器。该仪器采用直接电导率法，具有优异的轻便性（3.6千克），并且：

• 能够接受加压或非加压的样品

• 可用于监测分配点、生产工具或尚未建立永久监测的任意一点

• 根据一台参照TOC分析仪进行校准，可实现优异的低TOC浓度时，传感器对传感器的匹配

为了实现工艺性能和优化批量生产，在过氧化氢、氢氧化钠、氢氧化铵、硫酸和其他蚀刻/电镀化学品等工艺化学品中，控制TOC至关重要。Sievers InnovOx TOC分析仪非常适用于此类监测以及废水和回用水中的有机物监测。